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通過(guò)之前的 “如何通過(guò)選擇加速電壓來(lái)提高掃描電鏡的圖像質(zhì)量” 與 “樣品導(dǎo)電性對(duì)掃描電鏡成像的影響” 這兩篇文章，大家都了解了加速電壓與樣品導(dǎo)電性對(duì)圖像的成像質(zhì)量有非常大的影響。

其實(shí)，除了加速電壓與樣品的導(dǎo)電性，電鏡的束流強(qiáng)度、圖像亮度對(duì)比度、圖像像散等都會(huì)影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。今天，這篇文章將圍繞如何選擇束流強(qiáng)度，提高樣品的成像質(zhì)量。

掃描電鏡的發(fā)射束流強(qiáng)度對(duì)圖像的信噪比和分辨率（resolution）有著決定性的影響。大束流可以提高圖像的信噪比，但是分辨率較低。小束流則正好相反，具有較高的分辨率，但信噪比較差。

在這里，小編需要給大家簡(jiǎn)單科普一下分辨率與信噪比的含義，有利于大家理解后面的內(nèi)容：

分辨率是掃描電鏡主要性能指標(biāo)，對(duì)成像而言，指能分辨兩點(diǎn)之間的小距離（如圖1 所示）。通常來(lái)說(shuō)，分辨率越高，樣品的邊緣會(huì)越鋒利。

圖1  分辨率定義（兩點(diǎn)間距離）?