臺(tái)式掃描電子顯微鏡主要由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、圖像處理顯示和記錄系統(tǒng)、樣品室樣品臺(tái)、電源系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等組成。
電子顯微鏡利用電子和物質(zhì)的相互作用，圖像為立體形象，次級(jí)電子由探測(cè)體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào)，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)，其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。
該儀器具有超高分辨率，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理，利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上，低電壓下通過(guò)在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等，獲得立體感強(qiáng)的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息，具有高性能x射線能譜儀，能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力。
它用一個(gè)對(duì)稱(chēng)于鏡筒軸線的空間電場(chǎng)或磁場(chǎng)使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦，其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡（凸透鏡）使光束聚焦的作用是一樣的?，F(xiàn)代的臺(tái)式掃描電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，所以稱(chēng)為電子透鏡，光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的，而電子透鏡的焦點(diǎn)可以被調(diào)節(jié)，因此顯微鏡不象光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動(dòng)的透鏡系統(tǒng)，在圖像中則顯得較暗，如果樣品太厚或過(guò)密、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子。
